熱式氣體質量流量計是基于熱擴散原理而設計的流量儀表。即利用流體流過發(fā)熱物體時，發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關系。分為恒功率法和恒溫差法。傳感器部分由兩支基準級鈕電阻溫度傳感器組成，儀表工作時，一個傳感器不間斷地測量介質溫度T1，另一個傳感器自加熱到高于介質溫度T2，它用于感測流體流速，稱為速度傳感器。該溫度ΔT＝T2-T1，T2＞T1，當有流體流過時，由于氣體分子碰撞傳感器并將T2的熱量帶走，使T2的溫度下降，ΔT越小，氣體流動速度越快，帶走的熱量也就越多，氣體流速和ΔT大小存在線性的函數(shù)關系，這就是恒功率法原理。氣體流動速度越快，帶走的熱量也就越多，若使ΔT保持不變，就要提高T2的供電電流，增加功率，保持熱源RTD恒定溫度而增加的加熱功率大小與氣體流量大小存在線性的函數(shù)關系，這就是恒溫差法原理。

熱式氣體質量流量計每種形式都有整體、分體結構，根據(jù)測量管徑不同，有管道式、插入式兩種安裝方式，以適應不同的安裝環(huán)境。

● 氧氣、氮氣、氫氣、氯氣及多組分氣體測量。

● 高爐煤氣、焦爐煤氣測量。

● 煙道氣測量。

● 沼氣、水處理中的曝氣和氯氣測量。

● 壓縮空氣測量。

● 天然氣，液化氣，火炬氣，等氣體流量測量

● 電廠高爐的一次風、二次風流量測量

● 礦井下通風或排風系統(tǒng)流量測量

●燃氣過程中空氣流量測量

●煙囪排出的煙氣流量（速）測量（CEMS）

●煅燒爐煙道氣流量測量

●水泥、卷煙、玻璃廠生產(chǎn)過程中氣體流量測量

●溶劑回收系統(tǒng)中氣體流量測量

●半導體芯片制作過程中氣體流量測量

●啤酒生產(chǎn)過程中二氧化碳氣體流量測量

●加熱通風和空調系統(tǒng)中的氣體流量（速）測量

●燃煤鍋爐中燃燒氣體流量測量

●礦井下通風或排風系統(tǒng)中流量（速）實時檢測